三坐標(biāo)測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機(jī)等計算出工件的各點坐標(biāo)（x,y,z）及各項功能量測的三維坐標(biāo)測量儀器。

中圖儀器Mars系列三維坐標(biāo)測量儀器是移動橋式的三坐標(biāo)測量機(jī)。能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測系統(tǒng)，對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機(jī)，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等。

主要特點

1、三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導(dǎo)軌，機(jī)器具有良好的溫度適應(yīng)性，抗時效變形能力。

2、環(huán)抱式的氣浮布局，使機(jī)器保持長時間的穩(wěn)定運行，并且具有高的運行精度。

3、關(guān)鍵部件一體鑄造成型，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，強(qiáng)度高，運行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。

4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運動過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運動的精度。

5、采用海德漢光柵尺，確保機(jī)器在使用過程中具有高精度和長時間的穩(wěn)定性。

6、高剛性傳動，保證了機(jī)器傳動的剛性和平穩(wěn)性，提高了機(jī)器的運動精度。

7、固定式的工作臺，使機(jī)器具有承載能力強(qiáng)、裝卸空間寬闊、便捷。

8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。

Mars系列三坐標(biāo)的測頭系統(tǒng)是由測座、測頭、探針等組成，是數(shù)據(jù)采集的傳感器系統(tǒng)，三坐標(biāo)測量機(jī)在對工件進(jìn)行測量時，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)探測工件，返回工件表面的點數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計算各類幾何形狀、尺寸等。

1.測頭座

測頭座是探測系統(tǒng)中連接三坐標(biāo)測量機(jī)移動軸與測頭的部分，測頭信號通過測座同三坐標(biāo)測量機(jī)控制系統(tǒng)的測頭接口相連。測座有多種，主要分為手動可旋轉(zhuǎn)測座、固定測座、萬向探測系統(tǒng)三種。

2.測頭

測頭是測量機(jī)觸測被測零件的發(fā)訊開關(guān)，它是坐標(biāo)測量機(jī)的關(guān)鍵部件，主體為探測傳感器，一般由獨立的控制系統(tǒng)控制，其主要包括測量力的控制、測量過程控制、測點的感知、與坐標(biāo)測量系統(tǒng)通訊等。

3.探針

安裝在測頭上，并接觸被測量元件，典型結(jié)構(gòu)為測桿＋紅寶石球。不同形狀和規(guī)格，確保測頭不受限制的對工件所有特征元素進(jìn)行測量，整個探針系統(tǒng)包括：接長桿、轉(zhuǎn)接件、探針(組)等。探針系統(tǒng)可以根據(jù)相關(guān)的測量要求，通過對這些構(gòu)件的組合與配置，形成各種結(jié)構(gòu)形式，以完成不同的測量任務(wù)。

4.附件

1）加長桿

加長桿探針的輔助測量，具有測量較深位置特征的能力。

2）更換架

由于被測工件的復(fù)雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針(系統(tǒng))完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機(jī)測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動化的檢測。

3）標(biāo)準(zhǔn)球

由坐標(biāo)測量系統(tǒng)供應(yīng)商提供的一個(組)已知直徑的高精度球(球度誤差很小)， 用來標(biāo)定和校準(zhǔn)探測系統(tǒng)。這個裝置在平時使用過程中必須注意保護(hù)，因為它是測量機(jī)精度的依據(jù)之一，也是使用很頻繁的一個裝置。 

選配件

1.冷干機(jī)

三坐標(biāo)用氣源的初級空氣過濾，除水，除油，為三坐標(biāo)本身所配置的精密過濾系統(tǒng)減輕壓力，有效延長測量機(jī)的使用壽命。

2.UPS穩(wěn)壓電源

提供電壓及斷電延遲保護(hù)，防止客戶現(xiàn)場因為電壓不穩(wěn)定造成測量機(jī)元器件的損壞及防止因意外斷電造成正在測量過程中的數(shù)據(jù)丟失。

3.測頭更換架

由于被測工件的復(fù)雜性，在實際測量工作中不可能由一個探針完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機(jī)測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)性的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動化的檢測。

4.夾具

三坐標(biāo)夾具使用在測量機(jī)上，利用其模塊化的支持和參考裝置，完成對所測工件的柔性固定。

5.打印機(jī) 

打印機(jī)可用于將測量報告打印輸出。

中圖儀器三坐標(biāo)測量儀采用自主研發(fā)的設(shè)計與測量系統(tǒng)，提供了測量機(jī)的高精度性能，測量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm，結(jié)合多樣化配置，可滿足不同的測量需求。